Απόδοση Μόνωσης Βάσεων Κεραμικού Οξειδίου του Αργιλίου για Εξοπλισμό Μέτρησης Ακριβείας και Βιομηχανικό Έλεγχο

Αποδοτικότητα Μόνωσης Βάσεων Κεραμικής Αλουμίνας για Εξοπλισμό Μέτρησης Ακριβείας και Βιομηχανική Επιθεώρηση

Αυτές οι βάσεις στήριξης από κεραμική αλουμίνας κατασκευάζονται με 99,6% υλικό Al₂O₃ υψηλής καθαρότητας, ειδικά σχεδιασμένο για ημιαγωγούς, οπτικά και εξοπλισμό μέτρησης ακριβείας. Διαθέτοντας εξαιρετικά υψηλή επιπεδότητα 0,01mm/m και συντελεστή θερμικής διαστολής 7,2×10⁻⁶/°C, τα προϊόντα διατηρούν εξαιρετική σταθερότητα διαστάσεων σε ακραίες θερμοκρασίες (-60°C~1500°C) και περιβάλλοντα κενού (≤10⁻⁸Pa).

Βασικοί Τομείς Εφαρμογής

• Εξοπλισμός Ημιαγωγών: Στάδια λιθογραφίας, βάσεις θαλάμου χάραξης

• Οπτικά Ακριβείας: Πλατφόρμες αναφοράς λέιζερ συμβολομέτρου, βάσεις καθρεφτών διαστημικού τηλεσκοπίου

• Αναλυτικά Όργανα: Στάδια δειγμάτων ηλεκτρονικού μικροσκοπίου, υποστηρίξεις πηγής ιόντων φασματόμετρου

• Βιομηχανική Επιθεώρηση: Βάσεις μηχανών CMM, περιστρεφόμενοι πίνακες ελεγκτών στρογγυλότητας

• Νέα Ενέργεια: Υποστηρίξεις στοίβας κυψελών καυσίμου, φορείς εξοπλισμού επίστρωσης φωτοβολταϊκών

Πίνακας Πλεονεκτημάτων Απόδοσης

Τεχνικές Προδιαγραφές

Διαδικασία Κατασκευής Ακριβείας

1. Επεξεργασία Σκόνης: Σκόνη υψηλής καθαρότητας 0.1μm με κοκκοποίηση με ψεκασμό

2. Διαδικασία Διαμόρφωσης: Ισοστατική συμπίεση (300MPa) σε συνδυασμό με μηχανική κατεργασία CNC

3. Τεχνολογία Σύντηξης: Βαθμιδωτή σύντηξη στους 1700°C σε ατμόσφαιρα υδρογόνου

4. Μηχανική Κατεργασία Ακριβείας:

   • 5-αξονική λείανση (±0.002mm)

   • Γυάλισμα μαγνητορεολογικό (ακρίβεια επιφάνειας λ/20@632.8nm)

5. Επεξεργασία Καθαρού Δωματίου: Συναρμολόγηση ολοκληρώθηκε σε καθαρό δωμάτιο Class 100

6. Πλήρης Επιθεώρηση: Ολοκληρωμένη επιθεώρηση διαστάσεων με λέιζερ συμβολομέτρου + CMM

Οδηγίες Εγκατάστασης

• Απαιτήσεις Εγκατάστασης:
  ✓ Χρήση κλειδιού ροπής (συνιστώμενη τιμή 1.5±0.2N·m)
  ✓ Χρήση ειδικών εργαλείων καθαρού δωματίου
  ✓ Συνιστώμενη προσαρμογή θερμικής αντιστοίχισης (βαθμίδα θερμοκρασίας <2°C/min)

• Περιβαλλοντικοί Περιορισμοί:
  Ⓧ Αποφύγετε την επαφή με υδροφθορικό οξύ
  Ⓧ Αποφύγετε θερμικά σοκ >200°C/min
  Ⓧ Δεν είναι κατάλληλο για συνεχόμενα >1600°C οξειδωτικά περιβάλλοντα

Δέσμευση Εξυπηρέτησης

• Τεχνική Υποστήριξη: Δωρεάν ανάλυση καταπόνησης FEA

• Γρήγορη Ανταπόκριση: 72ωρη ταχεία εξυπηρέτηση

• Διαχείριση Ιχνηλασιμότητας: 10ετή πλήρη αρχεία παραγωγής

• Υποστήριξη Πιστοποίησης: Παρέχονται έγγραφα πιστοποίησης SEMI/FDA/ISO

Συχνές Ερωτήσεις

Ε: Πώς να διασφαλίσετε τη θερμική αντιστοίχιση με εξαρτήματα καρβιδίου του πυριτίου;
Α: Διατίθεται σχεδιασμός μετάβασης βαθμίδας CTE (ρυθμιζόμενο 7.2-4.5×10⁻⁶/°C)

Ε: Μέγιστες επεξεργάσιμες διαστάσεις;
Α: Τρέχον τεχνικό όριο 500×500×100mm (απαιτείται ειδικός εξοπλισμός)

Ε: Υποστηρίζεται η αγώγιμη τροποποίηση;
Α: Προσαρμόσιμες αντιστατικές εκδόσεις με αντίσταση επιφάνειας 10⁴-10¹⁰Ω

Ε: Πώς εξασφαλίζεται η καθαριότητα επιπέδου γκοφρέτας;
Α: Τελική αποστείρωση με VHP (εξατμισμένο υπεροξείδιο του υδρογόνου)