Απόδοση Μόνωσης Βάσεων Κεραμικού Οξειδίου του Αργιλίου για Εξοπλισμό Μέτρησης Ακριβείας και Βιομηχανικό Έλεγχο

Απομονωτικές Δυναμικότητες Αλουμινίου Κερματικές βάσεις για εξοπλισμό μέτρησης ακρίβειας και βιομηχανική επιθεώρηση

Αυτές οι κεραμικές βάσεις υποστήριξης αλουμινίου κατασκευάζονται χρησιμοποιώντας υλικό υψηλής καθαρότητας Al2O3 99,6%, ειδικά σχεδιασμένο για ημιαγωγούς, οπτικούς και ακριβείς εξοπλισμούς μέτρησης.Με εξαιρετικά υψηλή επίπεδεια 0Τα προϊόντα διατηρούν εξαιρετική σταθερότητα διαστάσεων σε ακραίες θερμοκρασίες (-60°C~1500°C) και σε περιβάλλον κενού (≤10−8Pa).

Βασικοί τομείς εφαρμογής

• Εξοπλισμός ημιαγωγών: Βάσεις σε πλάκες λιθογραφίας, βάσεις σε θάλαμους αντιδραστήρων χαρακτικής

• Οπτική ακρίβειας: πλατφόρμες αναφοράς με λέιζερ παρεμβολαιομετρητή, τοποθέτηση καθρέφτη διαστημικού τηλεσκοπίου

• Αναλυτικά όργανα: Στάδια δειγματοληψίας με ηλεκτρονικό μικροσκόπιο, υποστηρίγματα πηγής ιόντων φασματομετρητή μάζας

• Βιομηχανική επιθεώρηση: βάσεις μηχανών CMM, πίνακες περιστροφής για δοκιμή στρογγυλότητας

• Νέα Ενέργεια: Στήριξη συσσωρευτών κυψελών καυσίμου, φορείς φωτοβολταϊκού εξοπλισμού επικάλυψης

Μητρώο πλεονεκτημάτων απόδοσης

Τεχνικές προδιαγραφές

Πληροφοριακή διαδικασία

1. Επεξεργασία σκόνης: 0,1 μm υψηλής καθαρότητας σκόνη με σπρέι κόκκους

2. Διαδικασία σχηματισμού: Ισοστατική πίεση (300MPa) σε συνδυασμό με CNC πράσινη επεξεργασία

3. Τεχνολογία συγκόλλησης: Συσσωμάτωση με κλίση σε θερμοκρασία 1700°C σε ατμόσφαιρα υδρογόνου

4. Επεξεργασία ακριβείας:

   • Στρίψιμο 5 άξονων (± 0,002 mm)

   • Μαγνητορεολογική γυάλωση (ακρίβεια επιφάνειας λ/20@632,8nm)

5. Επεξεργασία καθαρού δωματίουΣυγκρότηση ολοκληρωμένη στο καθαρό δωμάτιο της κατηγορίας 100

6. Πλήρης επιθεώρηση: Διαμεσολαβητής λέιζερ + CMM πλήρης διαμετρική επιθεώρηση

Οδηγίες εγκατάστασης

• Απαιτήσεις εγκατάστασης:
  ✓ Χρησιμοποιήστε κλειδί ροπής (υποστηριζόμενη τιμή 1,5±0,2N·m)
  ✓ Χρησιμοποιήστε ειδικά εργαλεία καθαρού χώρου
  ✓ Συνιστώμενη προπροσαρμογή θερμικής αντιστοίχισης (συντόμευση θερμοκρασίας < 2°C/min)

• Περιβαλλοντικοί Περιορισμοί:
  Απαγορεύεται η επαφή με υδροφθορικό οξύ
  ️ Αποφύγετε θερμικά σοκ > 200°C/min
  Δεν είναι κατάλληλο για συνεχή περιβάλλοντα οξείδωσης > 1600 °C

Δεσμεύσεις Υπηρεσίας

• Τεχνική υποστήριξη: Δωρεάν ανάλυση στρες FEA

• Γρήγορη αντίδραση: 72ωρη ταχεία εξυπηρέτηση

• Διαχείριση της ιχνηλασιμότητας: 10ετή πλήρης καταγραφή παραγωγής

• Υποστήριξη πιστοποίησης: Παροχή εγγράφων πιστοποίησης SEMI/FDA/ISO

Γενικές ερωτήσεις

Ε: Πώς εξασφαλίζεται η θερμική αντιστοιχία με τα συστατικά του καρβιδίου του πυριτίου;
Α: Διατίθεται σχεδιασμός μετάβασης κλίσης CTE (προσαρμόσιμος 7,2-4,5×10−6/°C)

Ε: Μέγιστες διαστάσεις επεξεργασίας;
Α: Τεχνικό όριο 500×500×100mm (απαραίτητο ειδικό εργαλείο)

Ε: Υποστηρίζεται η τροποποίηση των αγωγών;
Α: Προσαρμόσιμες αντιστατικές εκδόσεις με αντίσταση επιφάνειας 104-1010Ω

Ε: Πώς διασφαλίζεται η καθαριότητα σε επίπεδο πλάκας;
Α: Τελική αποστείρωση με VHP (ατμισμένο υπεροξείδιο του υδρογόνου)