Κεραμική αλουμινίου υψηλής καθαρότητας με αντίσταση όγκου 10 4 Ohm*cm για εφαρμογές σε ημιαγωγούς

Κεραμική αλουμινίου υψηλής καθαρότητας με αντίσταση όγκου 10 4 Ohm*cm για εφαρμογές σε ημιαγωγούς

Η σειρά αυτή κεραμικών εξαρτημάτων αλουμινίου ειδικά για ημιαγωγούς κατασκευάζεται με υλικό Al2O3 εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας 99,6% μέσω χύτευσης ταινιών ακριβείας και διαδικασιών συγκόλλησης υψηλής θερμοκρασίας.Τα προϊόντα παρουσιάζουν εξαιρετική μόνωση., αντοχή στη διάβρωση και σταθερότητα διαστάσεων, που πληρούν τις απαιτήσεις καθαρότητας του προτύπου SEMI F47.

Πρωταρχικές εφαρμογές ημιαγωγών

• Κατασκευή πλακιδίων: κεραμικά εξαρτήματα μηχανών χαρακτικής, σκάφη διάχυσης

• Συσκευασία και δοκιμές: Υποστρώματα καρτών ανίχνευσης, εμβόλια δοκιμής

• Συστατικά του εξοπλισμού: Ενεργοποιητές τελικών ρομπότ

• Συστήματα κενού: Ηλεκτροστατικές βάσεις ελαστικών

• Οπτική επιθεώρηση: κεραμικές οδηγίες μηχανών λιθογραφίας

Πλεονεκτήματα του προϊόντος

✓ Υπερκαθαρό: Περιεκτικότητα σε ιόντα μετάλλων < 0,1 ppm
✓ Διαστάσεις ακρίβειας: ανοχή ± 0,05 mm/100 mm
✓ Αντίσταση στο πλάσμα: Ταχύτητα χαρακτικής < 0,1μm/ώρα
✓ Χαμηλή εκπομπή αερίων: TML<0,1% CVCM<0,01%
✓ Υψηλή αξιοπιστία: Περνά 1000 θερμικούς κύκλους

Τεχνικές προδιαγραφές

Διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών

1. Προετοιμασία υλικού:

   • Χύτρα Al2O3 νανοβαθμίας (D50≤0,5μm)

   • Μεταλλουργία σφαιριδίων υψηλής καθαρότητας (υποβοηθητικά συσσωρευτικά Y2O3-MgO)

2. Διαδικασία σχηματισμού:

   • Ταινία χύτευσης (δυναμικότητα 0,1-5 mm)

   • Ισοστατική πίεση (200MPa)

3. Ελέγχος συγκόλλησης:

   • Συσσωματωτική ατμόσφαιρα πολλαπλών σταδίων (1600°C/H2)

   • Μετά επεξεργασία HIP (1500°C/150MPa)

4. Επεξεργασία ακριβείας:

   • Επεξεργασία με λέιζερ (± 5μm)

   • Υπερήχθης γεώτρηση (σύνθεση όψεων 10:1)

5. Καθαρισμός και επιθεώρηση:

   • Μεγαζωνικός καθαρισμός (καθαρό δωμάτιο κλάσης 1)

   • Δοκιμή σωματιδίων SEMI F47

Κατευθυντήριες γραμμές χρήσης

️ Αποθήκευση: Καθαρή συσκευασία κλάσης 100
️ Περιβάλλον εγκατάστασης: 23±1°C RH45±5%
️ Καθαρισμός: Μόνο διαλύτες με ποιότητα ημιαγωγών
Χειρισμός: Αποφύγετε την άμεση επαφή με λειτουργικές επιφάνειες

Υπηρεσίες ημιαγωγών

• Πιστοποίηση καθαρότητας: εκθέσεις δοκιμών VDA19

• Ανάλυση βλάβης: Μικροανάλυση SEM/EDS

• Προσαρμοσμένη ανάπτυξη: Συνεργατικό σχεδιασμό DFM

Γενικές ερωτήσεις

Ε: Πώς διασφαλίζεται η καθαριότητα της επιφάνειας επαφής της πλάκας;
Α: Τριπλή προστασία:
1 Ενεργοποίηση επιφάνειας πλάσματος
2 Συσκευασία υπό κενό + αποθήκευση N2
3 Καθαρισμός ιονισμένου αέρα πριν από την εγκατάσταση

Ε: Απόδοση στο πλάσμα με βάση το φθόριο;
Α: Ειδική επεξεργασμένη έκδοση:
• Ταχύτητα χαρακτικής < 0,05μm/ώρα
• στρώμα παθητικοποίησης AlF3
• 3 φορές μεγαλύτερη διάρκεια ζωής

Ε: Μέγιστο επεξεργαζόμενο μέγεθος;
Α: Πρότυπο 200×200mm, ειδική διαδικασία έως 400×400mm.