Κεραμική αλουμινίου υψηλής καθαρότητας με αντίσταση όγκου 10 4 Ohm*cm για εφαρμογές σε ημιαγωγούς

Κεραμικό αλουμίνας υψηλής καθαρότητας με ειδική αντίσταση όγκου 10⁴ Ohm*cm για εφαρμογές ημιαγωγών

Αυτή η σειρά κεραμικών εξαρτημάτων αλουμίνας ειδικά για ημιαγωγούς κατασκευάζεται χρησιμοποιώντας υλικό Al₂O₃ 99,6% εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας μέσω διαδικασιών χύτευσης ταινίας ακριβείας και πυροσυσσωμάτωσης σε υψηλή θερμοκρασία. Τα προϊόντα παρουσιάζουν εξαιρετική μόνωση, αντοχή στη διάβρωση και σταθερότητα διαστάσεων, πληρώντας τις απαιτήσεις καθαριότητας SEMI Standard F47.

Πρωταρχικές εφαρμογές ημιαγωγών

• Κατασκευή γκοφρετών: Κεραμικά μέρη μηχανών χάραξης, βάρκες διάχυσης

• Συσκευασία & δοκιμή: Υποστρώματα κάρτας ανίχνευσης, υποδοχές δοκιμής

• Εξαρτήματα εξοπλισμού: Τελικοί ενεργοποιητές ρομπότ

• Συστήματα κενού: Βάσεις ηλεκτροστατικών τσοκ

• Οπτική επιθεώρηση: Κεραμικοί οδηγοί μηχανών λιθογραφίας

Πλεονεκτήματα προϊόντος

✓ Εξαιρετικά καθαρό: Περιεκτικότητα σε ιόντα μετάλλων <0.1ppm
✓ Διαστάσεις ακριβείας: Ανοχή ±0,05mm/100mm
✓ Αντίσταση πλάσματος: Ρυθμός χάραξης <0.1μm/h
✓ Χαμηλή εκπομπή αερίων: TML<0.1% CVCM<0.01%
✓ Υψηλή αξιοπιστία: Περνά 1000 θερμικούς κύκλους

Τεχνικές προδιαγραφές

Διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών

1. Προετοιμασία υλικού:

   • Σκόνη Al₂O₃ νανο-βαθμού (D50≤0.5μm)

   • Υψηλής καθαρότητας άλεση με μπάλα (βοηθήματα πυροσυσσωμάτωσης Y₂O₃-MgO)

2. Διαδικασία σχηματισμού:

   • Χύτευση ταινίας (πάχος 0,1-5mm)

   • Ισοστατική συμπίεση (200MPa)

3. Έλεγχος πυροσυσσωμάτωσης:

   • Πυροσυσσωμάτωση ατμόσφαιρας πολλαπλών σταδίων (1600°C/H₂)

   • Μετα-επεξεργασία HIP (1500°C/150MPa)

4. Μηχανική κατεργασία ακριβείας:

   • Επεξεργασία με λέιζερ (±5μm)

   • Υπερηχητική διάτρηση (αναλογία διαστάσεων 10:1)

5. Καθαρισμός & επιθεώρηση:

   • Μεγασονικός καθαρισμός (Καθαρό δωμάτιο κατηγορίας 1)

   • Δοκιμή σωματιδίων SEMI F47

Οδηγίες χρήσης

⚠️ Αποθήκευση: Καθαρή συσκευασία κατηγορίας 100
⚠️ Περιβάλλον εγκατάστασης: 23±1°C RH45±5%
⚠️ Καθαρισμός: Μόνο διαλύτες βαθμού ημιαγωγών
⚠️ Χειρισμός: Αποφύγετε την άμεση επαφή με λειτουργικές επιφάνειες

Υπηρεσίες ημιαγωγών

• Επαλήθευση καθαριότητας: Αναφορές δοκιμών VDA19

• Ανάλυση αστοχιών: Μικροανάλυση SEM/EDS

• Προσαρμοσμένη ανάπτυξη: DFM co-design

Συχνές ερωτήσεις

Ε: Πώς να διασφαλίσετε την καθαριότητα της επιφάνειας επαφής της γκοφρέτας;
Α: Τριπλή προστασία:
① Ενεργοποίηση επιφάνειας πλάσματος
② Συσκευασία κενού + αποθήκευση N₂
③ Καθαρισμός με ιονισμένο αέρα πριν την εγκατάσταση

Ε: Απόδοση σε πλάσμα με βάση το φθόριο;
Α: Ειδικά επεξεργασμένη έκδοση:
• Ρυθμός χάραξης <0.05μm/h
• Στρώμα παθητικοποίησης AlF₃
• 3x μεγαλύτερη διάρκεια ζωής

Ε: Μέγιστο επεξεργάσιμο μέγεθος;
Α: Τυπικό 200×200mm, ειδική επεξεργασία έως 400×400mm.