Κεραμικά ακροφύσια αντοχής σε υψηλές θερμοκρασίες για θερμοκρασίες διεργασίας 1200°C στη βιομηχανία LED

Κεραμικά ακροφύσια υψηλής αντοχής σε θερμοκρασίες για θερμοκρασίες διαδικασίας 1200 βαθμών C στη βιομηχανία LED

Ειδικά αναπτύχθηκε για τις διαδικασίες κατασκευής LED, το προϊόν αυτό κατασκευάζεται χρησιμοποιώντας 99,8% υψηλής καθαρότητας νιτρίδιο του πυριτίου (Si3N4) μέσω συμπύκνωσης πίεσης αερίου ακριβείας.Με εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα, αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες και αντοχή στη διάβρωση για την κάλυψη των αυστηρών απαιτήσεων εξοπλισμού MOCVD.

Εφαρμογές κατασκευής LED

• Εξοπλισμός MOCVD: ακριβής κατανομή της πηγής MO και του αερίου NH3

• Επιταξιακή ανάπτυξη: Ομοιόμορφη έγχυση αερίου σε θαλάμους αντίδρασης

• Κατασκευή τσιπ: Προστατευτικά συστήματα παροχής αερίου

• Διαδικασία συσκευασίας: ατομικοποίηση με ψεκασμό φωσφόρου

• Εξοπλισμός δοκιμής: Οπτικός έλεγχος αερίου ελέγχου

Πλεονεκτήματα της βιομηχανίας LED

✓ Υψηλή καθαριότητα: Περιεκτικότητα σε ιόντα μετάλλων < 1 ppm
✓ Αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες: Αντιστέκεται σε θερμοκρασίες διαδικασίας 1200°C
✓ Μηδενική ρύπανση αερίων: Καμία εκπομπή σωματιδίων
✓ Ακριβής έλεγχος ροής: ακρίβεια ροής ± 1%
✓ Παρατεταμένη διάρκεια ζωής: Αντέχει 5000+ θερμικούς κύκλους

Ειδικές παραμέτρους LED

Καθαρή διαδικασία κατασκευής

1. Προετοιμασία υλικού:

   • Νανό σκόνη (D50≤0,3μm)

   • Χωρίς σκόνη άλεση σφαιρών (καθαρό δωμάτιο κλάσης 10)

2. Τεχνικές συσκευές:

   • Ισοστατική πίεση (200MPa)

   • Υπερκαθαρή συγκόλληση (περιβάλλον της τάξης 100)

3. Μετά την μεταποίηση:

   • Καθαρισμός πλάσματος (απομόλυνση επιφάνειας)

   • Υπερήχθης καθαρισμός νερού DI

4. Συσκευή:

   • Διπλή συσκευασία κενού

   • Καθαρές σακούλες κλάσης ISO 4

Κατευθυντήριες γραμμές χρήσης

️ Εγκατάσταση: Απαιτείται λειτουργία καθαρής αίθουσας κλάσης 100
Ο έλεγχος αερίων: Χρησιμοποιήστε αέρια υψηλής καθαρότητας 99,999%
️ Διαχείριση θερμοκρασίας: Ταχύτητα θέρμανσης ≤ 5°C/min
️ Συντήρηση: Δοκιμή διαρροής ηλίου κάθε 500 ώρες

Ειδικές υπηρεσίες

• Παράταση εγγύησης: 18 μήνες

• Δοκιμή καθαριότητας: Δοκιμή εκπομπής ελεύθερων σωματιδίων

• Γρήγορη ανταπόκριση: 12ωρη τεχνική υποστήριξη

• Βελτιστοποίηση διαδικασίας: προσομοίωση πεδίου ροής αερίου

Γενικές ερωτήσεις

Ε: Πώς διασφαλίζεται η καθαρότητα της παράδοσης της πηγής MO;
Α: Τριπλές εγγυήσεις:
1 Παθητικοποίηση Si επιφάνειας
2 Καθαρή συσκευασία κλάσης 100
3 Καθαρισμός πλάσματος πριν από την εγκατάσταση

Ε: Χειρισμός απόφραξης ακροβωτίων;
Α: Συνιστάται:
• Υπερήχθης καθαρισμός νερού 200W + DI
• Χωρίς μηχανικό καθαρισμό των ράβδων
• Διατίθενται επαγγελματικές υπηρεσίες καθαρισμού

Ε: Συμβατότητα με διαφορετικά επιταξιακά στρώματα;
Α: Προσαρμόσιμες επιλογές:

• Πολυτρυπές δομές συστοιχίας

• Σχεδιασμοί σταδιακού μεγέθους τρύπας

• Ειδικές διαμορφώσεις γωνίας

•